蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水 [1]。低耗氧量的水，加入与酸。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。词条详细介绍了蒸馏的概念、蒸馏水、多次蒸馏水、蒸馏水的标准、制作方法、优点、用途；并且与去离子水、高纯度水、超纯水进行了对比分析。
检测项目：
1 灼烧渣含量（≤0.01%） [3] 2 锰（Mn）含量（≤0.00001%）3 铁（Fe）含量（≤0.0004%）4氯（Cl）（≤0.0005%）5 还原物质（O）含量（≤0.0002%）6 透明度（mm）无色透明7 电阻率（25℃）（≥10×104Ω·cm）8 硝酸及亚硝酸盐（以N计）（≤0.0003%）9 铵（NH4+）含量（≤0.0008%）10碱土金属氧化物（CaO计）（≤0.005%）11 颜色呈淡蓝色或无色
1. 蒸馏水 [6]：就是将水蒸馏、冷凝的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。有时候为了特殊目的，在蒸前会加入适当试剂，如为了无，会在水中加酸；低耗氧量的水，加入与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水，一般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高。
2.去离子水：就是将水通过阳离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树脂），则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并和水中的阳离子组成相应的；
含此种的水再通过阴离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强碱性阴离子）OH-被置换到水中，并和水中的H+结合成水，此即去离子水。去离子水在现代工业中有着非常广泛的用途，使用去离子水，是我国很多行业提高产品质量的，赶超世界水平的重要手段之一。
由于去离子水中的离子数可以被人为的控制，从而，使它的电阻率、溶解度、腐蚀性、毒细菌等物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。在工业生产及实验室的实验中，如果涉及到使用水的工艺都被使用了去离子水，那么，许多参数会更接近设计或理想数据，产品质量将变得易于控制。